Меню раздела

Автоматическая установка реактивно-ионного и плазмохимического травления «Caroline 15 PE»

Основные технические характеристики (Caroline 15 PE):

  • Предельный вакуум в рабочей камере, Па…………….….…2,5·10-4
  • Количество каналов рабочих газов (шт.) до 9, из них 4х каналов
    агрессивных газов (Cl2Si2Cl4, и т.д.) ……............................…2-9
  • Диаметр обрабатываемых изделий, мм ….......………….....…до 200
  • Равномерность на O150 мм при травлении SiO2 (%) …........… ±1

Плазмо-химическое травление используется в технологиях оптико-электронного приборостроения, микроэлектроники, нанооптоэлектроники и многих других. Плазмохимическое травление позволяет выполнить любые задачи по скоростному травлению диэлектриков, металлов (в том числе золота, меди), монокристаллического кремния, арсенида и нитрида галлия, полиамида и других материалов, широко используемых, например, в построении современных систем голографической памяти. Плазмохимическое травление позволяет получать рельефно-фазовые голограммные оптические элементы (ГОЭ), дифракционные оптические элементы (ДОЭ) и киноформные оптические элементы (КОЭ) на стеклянных и полупроводниковых пластинах диаметром до 200 мм.